座標変換ライブラリ eyemPosEquipは、高速・高精度位置決めライブラリで対応可能なUVWテーブルの座標変換機能を実現するソフトウェアライブラリです。

機能

●XYΘ座標でUVテーブルを制御できるようにXYΘ座標とUVW座標の相互変換を行います。
●UVWは回転中心を任意の位置に設定できますが、その回転中心を意識する必要がありません。
●2種類のUVWテーブルをサポートします。

UVWテーブルとは

UVWテーブルの基本構造

平面上にUVWの3軸を制御する3つのアクチュエータを配置し、3軸に直結する移動用プレートを置いて3軸の制御によって、そのプレートがXYΘ方向に移動する構造となっています。

UVWテーブルの特徴

UVWテーブルは、液晶パネルの位置決め用途では幅広く使用されているテーブルで、以下の特徴があります。

●UVWテーブルは平面上に3つのアクチュエータを配置する構造ですので、通常のXYΘが独立した3軸テーブルのように縦方向に積み重ねることがなく、テーブル全体が軽く薄くなります。
●剛性および耐荷重に強く、高精度な位置決め用途に向いています。
●テーブルの重量が軽くなりますので精度を上げ易くなり、また構造上回転方向の精度を高くすることができます。
●3軸同時に制御することによって任意の座標を中心に回転させることができます。