座標変換ライブラリ eyemPosEquipは、高速・高精度位置決めライブラリで対応可能なUVWテーブルの座標変換機能を実現するソフトウェアライブラリです。

機能

●XYΘ座標でUVテーブルを制御できるようにXYΘ座標とUVW座標の相互変換を行います。
●UVWは回転中心を任意の位置に設定できますが、その回転中心を意識する必要がありません。
●2種類のUVWテーブルをサポートします 。

UVWテーブルとは

UVWテーブルの基本構造

平面上にUVWの3軸を制御する3つのアクチュエータを配置し、3軸に直結する移動用プレートを置いて3軸の制御によって、そのプレートがXYΘ方向に移動する構造となっています。

UVWテーブルの特徴

UVWテーブルは、液晶パネルの位置決め用途では幅広く使用されているテーブルで、以下の特徴があります。

●UVWテーブルは平面上に3つのアクチュエータを配置する構造ですので、通常のXYΘが独立した3軸テーブルのように縦方向に積　み重ねることがなく、テーブル全体が軽く薄くなります。
●剛性および耐荷重に強く、高精度な位置決め用途に向いています。
●テーブルの重量が軽くなりますので精度を上げ易くなり、また構造上回転方向の精度を高くすることができます。
●3軸同時に制御することによって任意の座標を中心に回転させることができます 。

UVWテーブルの動作

UVWテーブルの種類と構造

UVWテーブルは一般的に2つのタイプがあります。その2つタイプ違いは各3軸と移動用プレートの連結における回転軸の位置が異なります。

回転の支点がマニピュレータで駆動する軸に直結しています。

上図のとおり連結部が回転、スライドします。スライドのレール部はプレートに固定されています。

回転の支点がマニピュレータで駆動する軸に直結しています。

上図のとおり連結部が回転、スライドします。スライドのレール部はプレートに固定されています。

支点回転タイプテーブルの動作

下図のとおり3軸のアクチュエータによってXY移動、回転移動を行います。

支点直動タイププテーブルの動作

下図のとおり3軸のアクチュエータによってXY移動、回転移動を行います。